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晶圓或 LCD 和 TFT 的檢驗、過程控制和缺陷分析必須快速、精確并符合人體工學(xué)。LeicaDM8000M和 DM12000M晶圓檢測顯微鏡提供了一個創(chuàng)新而高性價的系統(tǒng)解決方案，幫助客戶充滿信心地應(yīng)對現(xiàn)在和未來的檢驗挑戰(zhàn)。除了大視野和高分辨率光學(xué)部件，系統(tǒng)還采用了高度人性化的設(shè)計和全內(nèi)置的 LED 照明，可以從不同角度照亮樣品。
DM8000 M / DM12000 M 是一個模塊化大型平臺檢測顯微鏡平臺，可用于 8"/200 mm 和 12"/300 mm 樣品檢測。
手動檢測版本
電動版本
DM8000 M/DM12000 M
01
進(jìn)入檢測領(lǐng)域的第一步
查看樣品表面的更多信息，在更短的研究時間內(nèi)改進(jìn)產(chǎn)品質(zhì)量決策。
宏觀物鏡（Plan APO 0.7x）4倍與常規(guī)掃描物鏡的視野，用于快速瀏覽樣品
紫外照明可獲得更高分辨率，可與斜照明技術(shù)相結(jié)合，從任意角度以高分辨率查看樣品，獲得更多樣品表面信息，且檢驗結(jié)果精確
符合人體工程學(xué)的設(shè)計和自動化功能可實現(xiàn)快速、低疲勞操作，避免在重復(fù)性樣品檢測過程中注意力不集中
通過手動、編碼和電動功能支持智能工作流程，加快樣品檢測速度
02
快速樣品詳覽
從用于快速瀏覽樣本的微距物鏡（Plan APO 0.7x）到用于觀察zui精細(xì)細(xì)節(jié)的微距物鏡。
使用 25 mm (FOV) 目鏡，可看到 35.7 毫米的樣品表面
一目了然地看到在高倍放大鏡下 "看不見 "的宏觀缺陷，如材料樣品中的曝光缺失區(qū)域、鯊魚齒結(jié)構(gòu)或流動結(jié)構(gòu)
需要檢測宏觀結(jié)構(gòu)時，無需對樣品進(jìn)行耗時的掃描
只需切換到更高倍率（Obj. HC PL APO 150x/0.90 IVIS BD）即可看到最細(xì)微的細(xì)節(jié)
03
在更短時間內(nèi)獲得更多樣品表面信息
紫外照明可獲得更高分辨率，可與斜照明技術(shù)相結(jié)合，獲得更多樣品表面信息。
以高倍率（150 倍）的彩色模式，通過明場、暗場或DIC模式檢查樣品，以發(fā)現(xiàn)樣品缺陷
通過激活紫外線照明來提高光學(xué)分辨率，以觀察zui精細(xì)的結(jié)構(gòu)
以高分辨率將對比度較低的表面轉(zhuǎn)化為清晰的結(jié)構(gòu)拓?fù)鋱D，快速發(fā)現(xiàn)缺陷
04
通過智能功能支持工作流程
通過手動、編碼和電動功能支持智能工作流程，加快樣品檢測速度。
只需點(diǎn)擊一下按鈕，即可根據(jù)所選方法自動調(diào)整照明和對比度設(shè)置，從而節(jié)省時間并避免出錯
集成的 LED 可見光和紫外照明可在幾秒鐘內(nèi)切換不同的照明技術(shù)，保證污染不會進(jìn)入無塵間保持，確保潔凈室的清潔
內(nèi)置聚焦探測器，用于檢測高反射表面，可快速、輕松地找到正確的聚焦位置
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